BALLUFF电容式距离传感器选择要点

BALLUFF电容式距离传感器选择要点
典型的电容式传感器由上下电极、绝缘体和衬底构成。
当薄膜受压力作用时，薄膜会发生一定的变形，因此，上下电极之间的距离发生一定的变化，
电容式传感器的初始电容量很小，而连接传感器和电子线路的引线电缆电容、
电子线路的杂散电容以及电容极板与周围导体构成的电容等寄生电容却较大。
寄生电容的存在不但降低了测量灵敏度，而且引起非线性输出。
由于寄生电容是随机变化的．因而使传感器处于不稳定的工作状态．影响测量准确度。[
从而使电容发生变化。但电容式压力传感器的电容与上下电极之间的距离的关系是非线性关系，
因此，要用具有补偿功能的测量电路对输出电容进行非线性补偿。
电容式传感器结构简单，易于制造和保证高的精度，可以做得非常小巧，以实现某些特殊的测量；
能工作在高温，强辐射及强磁场等恶劣的环境中，可以承受很大的温度变化，承受高压力，
高冲击，过载等；能测量高温和低压差，也能对带磁工作进行测量。

BALLUFF电容式距离传感器选择要点
3)动态响应好
电容式传感器由于带电极板间的静电引力很小(约几个10^(-5)N)，需要的作用能量极小，
又由于它的可动部分可以做得很小很薄，即很轻，因此其固有频率很高，
动态响应时间短，能在几兆赫兹的频率下工作，特别适用于动态测量。
又由于其介质损耗小可以用较高频率供电，因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数。
可以非接触测量且灵敏度高
可非接触测量回转轴的振动或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等。
当采用非接触测量时，电容式传感器具有平均效应，可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。
电容式传感器除了上述的优点外，还因其带电极板间的静电引力很小，所需输入力和输入能量极小，
因而可测极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏，
分辨力高，能感应0.01μm甚至更小的位移。由于其空气等介质损耗小，
采用差动结构并接成电桥式时产生的零残极小，因此允许电路进行高倍率放大，使仪器具有很高的灵敏度。